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朱雀 2023-09-26 13:08 7阅读 0赞

## 什么是超声显微镜 ##

超声显微镜是利用超声作为工具来显示物体的微小结构的新型显微工具。人眼见不到声波，但我们可以利用声音的各种效应来间接地看到它。声波与物体相互作用，声波里便会有物体信息，我们只要设法检测到含有物体信息的声波，就能利用声的物理效应来变成可见图像。这就是超声显微镜成像的原理。超声显微镜具有许多天赋的特殊功能，它最突出的优点是可以观察光学显微镜和电子显微镜所难以观察的不透明物体的内部情况，因此，超声显微镜成为探索自然界奥秘的新的有力武器。声波能穿过不透光的物体，所以超声显微镜不仅能提供物体表面的图像，还能观察物体内部的图像，并且可以一层一层的地看下去。利用它可以看到维妙维肖的胎儿形象；对那些坚硬金属内部的缺损，也能了如指掌。这些，光学显微镜和电子显微镜都无能为力。此外，超声显微镜还能观察变硬了的生物组织，这是由于软组织和硬组织所引起的声速变化不同的缘故。总之，超声显微镜在生物、医学、电子学、材料科学、计量技术等研究中发挥了巨大的作用。超声波显微镜，全称应该是：超声波扫描显微镜，英文scanning acoustic microscope，简称c-sam，是一种在半导体业界、材料研究领域，广泛使用的一种高分辨无损检测设备。

顾名思义，超声显微镜，当然就是以超声波为主要的探测手段，超声探头频率从5m~1000m不等，应对不同材料、不同分辨率、不同的穿透特性来决定！它的主要原理是：探头发出一定频率的超声波，射到被测物体上，在物体的内部形成反射，接收探头接收的到超声波。当扫描机构作循环往复，接收探头就会接收到整个物体的信号，再通过工控机形成图像！

世界上最著名的超声显微镜企业是德国的ksi公司，它的v系列，如v400、v300等，堪称业界的经典和传奇；其次是美国的sonoscan，它的fastline系列，非常有创新力，能实现多工位扫描；德国还有一家叫pvatepla，半导体业界比较出名，它对晶圆、晶锭等测量有独到的技术，特别是它在mems、晶圆键合等领域的应用。还有一家是sonix，它也是很多美国企业采用的。

国内有一家知名网站，csam世界网，可以看下。

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